VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
Bottom of Al_N coating Ion Etch Crater (200 ang depth)
1

NORM
REGULAR
5
0
0
0
0
0
5

Bottom of Al_N coating Ion Etch Crater (200 ang depth)
2003
5
7
22
59
36
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.06
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-0.977517
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
2048
86
7362
0.110083
0.376048
1093
0.376048
1100
0.375219
1066
0.374393
1092
0.373571
1096
0.372752
1086
0.371937
1071
0.371125
1011
0.370316
1054
0.369511
995
0.368709
990
0.36791
1005
0.367115
1080
0.366323
1017
0.365534
1066
0.364749
1065
0.363966
1088
0.363187
1163
0.362411
1292
0.361638
1336
0.360869
1358
0.360102
1340
0.359339
1345
0.358578
1202
0.357821
1097
0.357067
1141
0.356315
1153
0.355567
983
0.354822
1075
0.35408
1081
0.35334
1029
0.352604
972
0.351871
965
0.35114
969
0.350412
979
0.349688
932
0.348966
916
0.348247
916
0.347531
955
0.346817
951
0.346106
975
0.345399
906
0.344694
1009
0.343991
961
0.343292
976
0.342595
978
0.3419
944
0.341209
938
0.34052
982
0.339834
902
0.33915
986
0.338469
954
0.337791
970
0.337115
934
0.336442
957
0.335771
969
0.335103
983
0.334438
932
0.333775
945
0.333114
1023
0.332456
1003
0.3318
912
0.331147
970
0.330497
963
0.329848
1024
0.329203
997
0.328559
1011
0.327918
988
0.32728
984
0.326643
1007
0.32601
1021
0.325378
1009
0.324749
1008
0.324122
935
0.323497
1005
0.322875
987
0.322255
933
0.321637
991
0.321022
978
0.320409
967
0.319798
1011
0.319189
975
0.318582
940
0.317978
998
0.317376
1014
0.316776
947
0.316178
964
0.315582
1011
0.314989
971
0.314397
1036
0.313808
980
0.313221
956
0.312635
1036
0.312052
1000
0.311471
1060
0.310893
999
0.310316
1011
0.309741
942
0.309168
965
0.308597
1018
0.308029
1034
0.307462
988
0.306897
1006
0.306334
1016
0.305773
934
0.305215
1088
0.304658
1081
0.304103
1060
0.30355
1020
0.302998
1058
0.302449
1076
0.301902
1060
0.301356
1011
0.300813
1076
0.300271
1044
0.299731
999
0.299193
1043
0.298657
1009
0.298123
980
0.29759
990
0.29706
1029
0.296531
1017
0.296004
1027
0.295478
1047
0.294955
958
0.294433
1019
0.293913
990
0.293395
1019
0.292878
1065
0.292364
1021
0.291851
1017
0.291339
1044
0.29083
999
0.290322
1064
0.289815
1013
0.289311
1042
0.288808
1039
0.288307
1052
0.287807
1012
0.287309
1099
0.286813
1041
0.286318
1000
0.285825
986
0.285334
1023
0.284844
1058
0.284356
1072
0.28387
1027
0.283385
1039
0.282901
1055
0.282419
1066
0.281939
1083
0.28146
1042
0.280983
987
0.280508
1069
0.280033
1016
0.279561
1034
0.27909
1035
0.27862
1055
0.278152
1008
0.277686
1089
0.277221
1101
0.276757
1072
0.276295
1083
0.275835
1079
0.275375
1079
0.274918
1020
0.274461
1082
0.274007
972
0.273553
1079
0.273101
1048
0.272651
1034
0.272202
1034
0.271754
952
0.271308
1081
0.270863
1024
0.27042
969
0.269977
975
0.269537
1025
0.269097
1077
0.268659
956
0.268223
1009
0.267787
956
0.267354
973
0.266921
989
0.26649
987
0.26606
1006
0.265631
1020
0.265204
975
0.264778
1017
0.264353
1041
0.26393
995
0.263508
1001
0.263087
994
0.262668
1005
0.262249
1022
0.261832
1016
0.261417
986
0.261002
984
0.260589
1110
0.260177
994
0.259766
1005
0.259357
1000
0.258949
1027
0.258542
1017
0.258136
1043
0.257731
1019
0.257328
1119
0.256926
996
0.256525
984
0.256125
998
0.255726
1076
0.255329
1124
0.254933
1090
0.254538
1049
0.254144
1067
0.253751
1070
0.25336
1152
0.252969
1128
0.25258
1106
0.252192
1185
0.251805
1149
0.251419
1131
0.251034
1180
0.250651
1135
0.250268
1060
0.249887
1097
0.249506
1130
0.249127
1042
0.248749
1033
0.248372
1127
0.247996
1091
0.247621
1104
0.247248
1026
0.246875
1084
0.246504
1071
0.246133
1111
0.245764
1066
0.245395
1022
0.245028
1099
0.244662
1126
0.244296
1046
0.243932
1128
0.243569
1119
0.243207
1087
0.242846
1137
0.242486
1154
0.242127
1065
0.241768
1105
0.241411
1087
0.241055
1092
0.2407
1083
0.240346
1166
0.239993
1137
0.239641
1147
0.23929
1148
0.23894
1146
0.238591
1107
0.238243
1170
0.237896
1095
0.237549
1173
0.237204
1131
0.23686
1173
0.236516
1203
0.236174
1223
0.235833
1175
0.235492
1245
0.235152
1163
0.234814
1139
0.234476
1210
0.234139
1155
0.233803
1132
0.233469
1179
0.233135
1233
0.232801
1233
0.232469
1187
0.232138
1224
0.231807
1219
0.231478
1186
0.231149
1166
0.230822
1198
0.230495
1154
0.230169
1193
0.229844
1270
0.22952
1264
0.229196
1210
0.228874
1298
0.228552
1242
0.228231
1191
0.227912
1142
0.227593
1162
0.227274
1088
0.226957
1143
0.226641
1099
0.226325
1070
0.22601
1092
0.225696
1078
0.225383
1195
0.225071
1194
0.224759
1437
0.224449
1500
0.224139
1287
0.22383
1041
0.223521
991
0.223214
1021
0.222907
947
0.222602
966
0.222297
1039
0.221992
1031
0.221689
1030
0.221386
1019
0.221085
1014
0.220784
1059
0.220483
1058
0.220184
1041
0.219885
1023
0.219587
1037
0.21929
957
0.218994
1010
0.218698
1002
0.218403
1011
0.218109
999
0.217816
1041
0.217523
983
0.217231
975
0.21694
1037
0.21665
1045
0.21636
1005
0.216071
1050
0.215783
966
0.215496
1015
0.215209
1043
0.214923
1041
0.214638
1050
0.214353
968
0.214069
1062
0.213786
1012
0.213504
1095
0.213222
1054
0.212941
1020
0.212661
1047
0.212382
1015
0.212103
1081
0.211825
1073
0.211547
1016
0.211271
1057
0.210994
1053
0.210719
1041
0.210444
1077
0.21017
1029
0.209897
1133
0.209624
1073
0.209352
1058
0.209081
1080
0.208811
1062
0.208541
1070
0.208271
1072
0.208003
1021
0.207735
1178
0.207467
1080
0.207201
1062
0.206935
1038
0.206669
1100
0.206405
1109
0.206141
1080
0.205877
1089
0.205614
1161
0.205352
1169
0.205091
1090
0.20483
1111
0.20457
1083
0.20431
1131
0.204051
1088
0.203793
1107
0.203535
1125
0.203278
1140
0.203022
1110
0.202766
1180
0.20251
1164
0.202256
1186
0.202002
1136
0.201748
1178
0.201496
1174
0.201243
1180
0.200992
1172
0.200741
1151
0.20049
1160
0.200241
1178
0.199991
1178
0.199743
1168
0.199495
1173
0.199247
1189
0.199
1185
0.198754
1185
0.198508
1194
0.198263
1230
0.198019
1236
0.197775
1185
0.197531
1211
0.197289
1221
0.197046
1193
0.196805
1191
0.196564
1238
0.196323
1241
0.196083
1232
0.195844
1265
0.195605
1272
0.195366
1240
0.195129
1247
0.194891
1236
0.194655
1291
0.194419
1250
0.194183
1331
0.193948
1249
0.193714
1306
0.19348
1223
0.193246
1302
0.193013
1267
0.192781
1301
0.192549
1274
0.192318
1277
0.192087
1263
0.191857
1301
0.191627
1358
0.191398
1313
0.19117
1384
0.190941
1282
0.190714
1343
0.190487
1356
0.19026
1362
0.190034
1307
0.189809
1368
0.189584
1356
0.189359
1362
0.189135
1431
0.188911
1387
0.188688
1413
0.188466
1464
0.188244
1366
0.188022
1355
0.187801
1380
0.187581
1398
0.187361
1341
0.187141
1369
0.186922
1314
0.186704
1378
0.186486
1396
0.186268
1343
0.186051
1399
0.185835
1301
0.185618
1414
0.185403
1419
0.185188
1473
0.184973
1377
0.184759
1490
0.184545
1485
0.184332
1533
0.184119
1512
0.183907
1502
0.183695
1541
0.183483
1541
0.183272
1490
0.183062
1478
0.182852
1414
0.182642
1398
0.182433
1360
0.182225
1417
0.182016
1409
0.181809
1358
0.181601
1333
0.181395
1459
0.181188
1351
0.180982
1336
0.180777
1251
0.180572
1369
0.180367
1424
0.180163
1823
0.179959
2533
0.179756
3738
0.179553
4229
0.179351
3037
0.179149
1905
0.178947
1388
0.178746
1348
0.178546
1305
0.178345
1248
0.178145
1266
0.177946
1265
0.177747
1323
0.177549
1269
0.177351
1309
0.177153
1285
0.176956
1335
0.176759
1278
0.176562
1288
0.176366
1316
0.176171
1391
0.175975
1287
0.175781
1320
0.175586
1367
0.175392
1299
0.175199
1338
0.175006
1339
0.174813
1345
0.174621
1393
0.174429
1281
0.174237
1338
0.174046
1359
0.173855
1336
0.173665
1332
0.173475
1376
0.173286
1387
0.173097
1326
0.172908
1466
0.172719
1429
0.172531
1483
0.172344
1431
0.172157
1390
0.17197
1431
0.171784
1399
0.171598
1433
0.171412
1401
0.171227
1426
0.171042
1399
0.170857
1443
0.170673
1448
0.170489
1459
0.170306
1466
0.170123
1426
0.169941
1504
0.169758
1411
0.169576
1462
0.169395
1502
0.169214
1423
0.169033
1445
0.168853
1480
0.168673
1466
0.168493
1468
0.168314
1532
0.168135
1496
0.167956
1519
0.167778
1562
0.1676
1516
0.167423
1566
0.167246
1549
0.167069
1588
0.166893
1528
0.166717
1586
0.166541
1480
0.166366
1535
0.166191
1591
0.166016
1631
0.165842
1590
0.165668
1709
0.165494
1590
0.165321
1608
0.165148
1598
0.164975
1541
0.164803
1608
0.164631
1623
0.16446
1601
0.164289
1640
0.164118
1585
0.163947
1681
0.163777
1637
0.163607
1589
0.163438
1580
0.163269
1635
0.1631
1707
0.162931
1604
0.162763
1759
0.162596
1637
0.162428
1680
0.162261
1658
0.162094
1733
0.161928
1799
0.161761
1726
0.161595
1724
0.16143
1768
0.161265
1709
0.1611
1772
0.160935
1730
0.160771
1754
0.160607
1708
0.160444
1746
0.16028
1744
0.160117
1648
0.159955
1669
0.159792
1682
0.15963
1761
0.159469
1768
0.159307
1749
0.159146
1847
0.158985
1886
0.158825
1956
0.158665
1993
0.158505
2126
0.158345
1922
0.158186
1961
0.158027
1928
0.157868
1754
0.15771
1622
0.157552
1566
0.157394
1563
0.157237
1455
0.15708
1400
0.156923
1361
0.156767
1284
0.15661
1207
0.156454
1200
0.156299
1135
0.156143
1168
0.155988
1271
0.155834
1403
0.155679
1765
0.155525
2488
0.155371
4942
0.155218
7362
0.155064
4030
0.154911
1569
0.154759
1050
0.154606
1024
0.154454
935
0.154302
944
0.154151
883
0.153999
911
0.153848
901
0.153698
906
0.153547
924
0.153397
849
0.153247
927
0.153098
931
0.152948
906
0.152799
923
0.15265
918
0.152502
853
0.152354
881
0.152206
928
0.152058
921
0.151911
927
0.151764
924
0.151617
917
0.15147
932
0.151324
947
0.151178
926
0.151032
937
0.150887
939
0.150741
973
0.150596
988
0.150452
983
0.150307
955
0.150163
987
0.150019
962
0.149876
939
0.149732
927
0.149589
974
0.149446
963
0.149304
942
0.149161
968
0.149019
947
0.148877
991
0.148736
967
0.148594
971
0.148453
1039
0.148313
1023
0.148172
967
0.148032
1006
0.147892
936
0.147752
1039
0.147612
1037
0.147473
1028
0.147334
1004
0.147195
1015
0.147057
997
0.146919
1036
0.146781
1088
0.146643
963
0.146505
985
0.146368
993
0.146231
1027
0.146094
1000
0.145958
965
0.145821
1050
0.145685
981
0.145549
1001
0.145414
977
0.145278
978
0.145143
1008
0.145008
943
0.144874
990
0.144739
1025
0.144605
1038
0.144471
1093
0.144338
1161
0.144204
1203
0.144071
1298
0.143938
1267
0.143805
1095
0.143673
986
0.143541
994
0.143409
1041
0.143277
1124
0.143145
1050
0.143014
987
0.142883
1030
0.142752
956
0.142621
999
0.142491
1075
0.142361
975
0.142231
998
0.142101
1097
0.141971
1042
0.141842
988
0.141713
1002
0.141584
1027
0.141455
1077
0.141327
1057
0.141199
1042
0.141071
999
0.140943
1003
0.140816
1047
0.140688
1110
0.140561
1021
0.140434
1017
0.140308
1015
0.140181
1072
0.140055
1037
0.139929
1122
0.139803
1129
0.139678
1175
0.139553
1435
0.139427
1593
0.139303
1371
0.139178
1186
0.139053
1210
0.138929
1106
0.138805
1061
0.138681
1070
0.138558
1062
0.138434
1058
0.138311
1034
0.138188
1046
0.138065
1058
0.137942
1067
0.13782
1096
0.137698
1088
0.137576
1125
0.137454
1084
0.137333
1105
0.137211
1101
0.13709
1078
0.136969
1076
0.136848
1146
0.136728
1160
0.136608
1124
0.136487
1081
0.136368
1065
0.136248
1058
0.136128
1040
0.136009
1054
0.13589
1031
0.135771
1024
0.135652
999
0.135534
1040
0.135415
981
0.135297
999
0.135179
1006
0.135061
1005
0.134944
1015
0.134826
1007
0.134709
1034
0.134592
1075
0.134476
1232
0.134359
1425
0.134243
1505
0.134126
1664
0.13401
1281
0.133895
1090
0.133779
995
0.133664
977
0.133548
957
0.133433
981
0.133318
936
0.133204
929
0.133089
969
0.132975
1003
0.132861
897
0.132747
999
0.132633
948
0.13252
1003
0.132406
992
0.132293
954
0.13218
953
0.132067
973
0.131955
1012
0.131842
993
0.13173
1005
0.131618
937
0.131506
972
0.131394
993
0.131283
1040
0.131171
970
0.13106
948
0.130949
1016
0.130838
1006
0.130728
1016
0.130617
1032
0.130507
986
0.130397
1054
0.130287
1096
0.130177
1002
0.130068
999
0.129958
1034
0.129849
1032
0.12974
1065
0.129631
1028
0.129522
1019
0.129414
1106
0.129305
1116
0.129197
1170
0.129089
1120
0.128981
1040
0.128874
1018
0.128766
1017
0.128659
1037
0.128552
1069
0.128445
1066
0.128338
1094
0.128231
1061
0.128125
1040
0.128019
1097
0.127913
1032
0.127807
1115
0.127701
1043
0.127595
1118
0.12749
1064
0.127384
1052
0.127279
1169
0.127174
1107
0.127069
1204
0.126965
1125
0.12686
1130
0.126756
1170
0.126652
1170
0.126548
1123
0.126444
1201
0.12634
1162
0.126237
1120
0.126134
1210
0.12603
1179
0.125927
1172
0.125825
1174
0.125722
1177
0.125619
1272
0.125517
1241
0.125415
1211
0.125313
1250
0.125211
1239
0.125109
1175
0.125008
1259
0.124906
1245
0.124805
1298
0.124704
1273
0.124603
1283
0.124502
1328
0.124401
1283
0.124301
1329
0.124201
1276
0.1241
1299
0.124
1251
0.123901
1274
0.123801
1305
0.123701
1324
0.123602
1348
0.123503
1371
0.123404
1383
0.123305
1428
0.123206
1515
0.123107
1517
0.123009
1558
0.12291
1630
0.122812
1678
0.122714
1574
0.122616
1617
0.122518
1538
0.122421
1436
0.122323
1429
0.122226
1348
0.122129
1228
0.122032
1266
0.121935
1181
0.121838
1155
0.121742
1136
0.121645
1124
0.121549
1066
0.121453
1068
0.121357
1091
0.121261
1184
0.121165
1374
0.12107
2138
0.120974
3503
0.120879
5203
0.120784
4895
0.120689
2773
0.120594
1443
0.120499
1065
0.120405
974
0.120311
944
0.120216
867
0.120122
849
0.120028
852
0.119934
827
0.119841
794
0.119747
827
0.119654
793
0.11956
835
0.119467
815
0.119374
812
0.119281
825
0.119189
837
0.119096
826
0.119003
865
0.118911
895
0.118819
829
0.118727
927
0.118635
959
0.118543
996
0.118452
1010
0.11836
1003
0.118269
1009
0.118177
929
0.118086
910
0.117995
787
0.117904
746
0.117814
652
0.117723
630
0.117633
661
0.117542
583
0.117452
542
0.117362
567
0.117272
550
0.117183
469
0.117093
549
0.117003
530
0.116914
678
0.116825
996
0.116736
2215
0.116647
3835
0.116558
3323
0.116469
1338
0.11638
593
0.116292
409
0.116204
402
0.116115
360
0.116027
353
0.115939
303
0.115851
358
0.115764
356
0.115676
303
0.115589
313
0.115501
342
0.115414
316
0.115327
310
0.11524
313
0.115153
329
0.115067
321
0.11498
361
0.114893
400
0.114807
439
0.114721
424
0.114635
377
0.114549
303
0.114463
293
0.114377
273
0.114292
256
0.114206
256
0.114121
269
0.114036
267
0.113951
278
0.113866
292
0.113781
340
0.113696
298
0.113611
274
0.113527
287
0.113442
291
0.113358
297
0.113274
265
0.11319
269
0.113106
264
0.113022
298
0.112939
264
0.112855
263
0.112772
263
0.112688
293
0.112605
259
0.112522
275
0.112439
279
0.112356
338
0.112273
358
0.112191
410
0.112108
327
0.112026
293
0.111944
303
0.111862
289
0.111779
361
0.111698
410
0.111616
342
0.111534
224
0.111452
177
0.111371
161
0.11129
160
0.111208
193
0.111127
258
0.111046
323
0.110965
343
0.110885
286
0.110804
268
0.110723
270
0.110643
229
0.110563
200
0.110482
173
0.110402
176
0.110322
146
0.110242
147
0.110162
86
0.110083

Bottom of Al_N coating Ion Etch Crater (200 ang depth)
2003
5
7
22
59
36
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.08
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
296
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
6
4.00E-06
0
0
0
0
512
0
284
0.532489
0.535602
63
0.535602
52
0.53559
59
0.535578
44
0.535565
62
0.535553
55
0.535541
42
0.535528
33
0.535516
42
0.535504
55
0.535491
54
0.535479
58
0.535467
30
0.535454
66
0.535442
49
0.53543
61
0.535417
66
0.535405
33
0.535393
40
0.53538
41
0.535368
69
0.535356
62
0.535343
58
0.535331
45
0.535319
50
0.535306
59
0.535294
56
0.535282
86
0.535269
38
0.535257
64
0.535245
58
0.535232
62
0.53522
46
0.535208
50
0.535195
47
0.535183
31
0.535171
24
0.535158
47
0.535146
52
0.535134
48
0.535122
24
0.535109
69
0.535097
79
0.535085
70
0.535072
62
0.53506
38
0.535048
63
0.535035
66
0.535023
47
0.535011
73
0.534999
0
0.534986
50
0.534974
67
0.534962
58
0.534949
64
0.534937
52
0.534925
65
0.534912
44
0.5349
74
0.534888
78
0.534876
60
0.534863
45
0.534851
55
0.534839
50
0.534826
40
0.534814
50
0.534802
54
0.53479
35
0.534777
61
0.534765
40
0.534753
48
0.534741
67
0.534728
81
0.534716
39
0.534704
87
0.534691
92
0.534679
61
0.534667
66
0.534655
39
0.534642
44
0.53463
45
0.534618
73
0.534606
89
0.534593
89
0.534581
82
0.534569
49
0.534557
94
0.534544
65
0.534532
84
0.53452
39
0.534508
58
0.534495
97
0.534483
74
0.534471
108
0.534459
74
0.534446
67
0.534434
75
0.534422
86
0.53441
86
0.534397
112
0.534385
82
0.534373
121
0.534361
97
0.534348
106
0.534336
101
0.534324
127
0.534312
133
0.534299
134
0.534287
127
0.534275
92
0.534263
108
0.534251
74
0.534238
103
0.534226
123
0.534214
130
0.534202
137
0.534189
158
0.534177
150
0.534165
142
0.534153
180
0.53414
158
0.534128
210
0.534116
224
0.534104
189
0.534092
199
0.534079
255
0.534067
254
0.534055
284
0.534043
262
0.534031
280
0.534018
241
0.534006
257
0.533994
261
0.533982
223
0.53397
241
0.533957
231
0.533945
220
0.533933
181
0.533921
145
0.533909
143
0.533896
164
0.533884
155
0.533872
151
0.53386
102
0.533848
100
0.533835
127
0.533823
127
0.533811
62
0.533799
93
0.533787
69
0.533774
82
0.533762
77
0.53375
101
0.533738
61
0.533726
53
0.533713
82
0.533701
66
0.533689
64
0.533677
64
0.533665
63
0.533653
59
0.53364
62
0.533628
61
0.533616
66
0.533604
66
0.533592
60
0.53358
34
0.533567
63
0.533555
66
0.533543
62
0.533531
28
0.533519
61
0.533507
61
0.533494
92
0.533482
51
0.53347
55
0.533458
70
0.533446
75
0.533434
50
0.533421
79
0.533409
96
0.533397
50
0.533385
87
0.533373
60
0.533361
50
0.533348
75
0.533336
56
0.533324
43
0.533312
55
0.5333
54
0.533288
47
0.533276
45
0.533263
62
0.533251
67
0.533239
61
0.533227
68
0.533215
54
0.533203
63
0.533191
62
0.533179
77
0.533166
55
0.533154
79
0.533142
56
0.53313
56
0.533118
50
0.533106
47
0.533094
53
0.533081
51
0.533069
61
0.533057
84
0.533045
81
0.533033
52
0.533021
75
0.533009
63
0.532997
61
0.532984
69
0.532972
74
0.53296
55
0.532948
49
0.532936
54
0.532924
18
0.532912
60
0.5329
67
0.532888
37
0.532875
58
0.532863
59
0.532851
58
0.532839
50
0.532827
65
0.532815
87
0.532803
26
0.532791
58
0.532779
44
0.532767
39
0.532754
62
0.532742
23
0.53273
65
0.532718
40
0.532706
53
0.532694
55
0.532682
59
0.53267
66
0.532658
7
0.532646
49
0.532634
63
0.532621
65
0.532609
51
0.532597
55
0.532585
39
0.532573
66
0.532561
69
0.532549
55
0.532537
77
0.532525
48
0.532513
53
0.532501
33
0.532489

Bottom of Al_N coating Ion Etch Crater (200 ang depth)
2003
5
7
22
59
36
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.08
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
541
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
6
4.00E-06
0
0
0
0
512
0
1321
0.576344
0.580581
73
0.580581
67
0.580564
47
0.580547
72
0.580531
61
0.580514
84
0.580497
81
0.58048
73
0.580463
46
0.580446
68
0.580429
26
0.580413
51
0.580396
115
0.580379
40
0.580362
87
0.580345
44
0.580328
59
0.580312
88
0.580295
37
0.580278
71
0.580261
41
0.580244
23
0.580228
45
0.580211
65
0.580194
30
0.580177
75
0.58016
77
0.580144
80
0.580127
47
0.58011
30
0.580093
77
0.580076
28
0.58006
36
0.580043
64
0.580026
69
0.580009
95
0.579992
54
0.579976
73
0.579959
34
0.579942
60
0.579925
51
0.579908
81
0.579892
51
0.579875
65
0.579858
39
0.579841
24
0.579825
89
0.579808
37
0.579791
52
0.579774
98
0.579757
56
0.579741
33
0.579724
24
0.579707
18
0.57969
50
0.579674
46
0.579657
61
0.57964
30
0.579623
30
0.579607
37
0.57959
66
0.579573
60
0.579556
97
0.57954
78
0.579523
56
0.579506
72
0.57949
102
0.579473
106
0.579456
79
0.579439
73
0.579423
115
0.579406
143
0.579389
153
0.579372
118
0.579356
162
0.579339
142
0.579322
206
0.579306
199
0.579289
187
0.579272
236
0.579255
244
0.579239
261
0.579222
294
0.579205
316
0.579189
298
0.579172
367
0.579155
298
0.579139
414
0.579122
406
0.579105
415
0.579088
462
0.579072
443
0.579055
520
0.579038
540
0.579022
611
0.579005
637
0.578988
669
0.578972
705
0.578955
800
0.578938
867
0.578922
907
0.578905
985
0.578888
1029
0.578872
1046
0.578855
1153
0.578838
1116
0.578822
1235
0.578805
1183
0.578788
1303
0.578772
1270
0.578755
1207
0.578738
1232
0.578722
1321
0.578705
1202
0.578689
1141
0.578672
1176
0.578655
1137
0.578639
994
0.578622
1009
0.578605
1004
0.578589
890
0.578572
889
0.578555
762
0.578539
691
0.578522
713
0.578506
645
0.578489
618
0.578472
555
0.578456
503
0.578439
442
0.578422
434
0.578406
360
0.578389
374
0.578373
287
0.578356
249
0.578339
240
0.578323
181
0.578306
201
0.57829
150
0.578273
129
0.578256
142
0.57824
132
0.578223
94
0.578207
93
0.57819
86
0.578173
66
0.578157
60
0.57814
48
0.578124
80
0.578107
28
0.578091
31
0.578074
61
0.578057
38
0.578041
63
0.578024
34
0.578008
43
0.577991
74
0.577975
52
0.577958
22
0.577941
21
0.577925
44
0.577908
56
0.577892
40
0.577875
29
0.577859
63
0.577842
65
0.577826
47
0.577809
50
0.577792
37
0.577776
70
0.577759
58
0.577743
51
0.577726
54
0.57771
74
0.577693
38
0.577677
33
0.57766
49
0.577644
19
0.577627
33
0.577611
0
0.577594
44
0.577578
80
0.577561
59
0.577544
32
0.577528
31
0.577511
52
0.577495
59
0.577478
54
0.577462
43
0.577445
40
0.577429
29
0.577412
57
0.577396
42
0.577379
22
0.577363
21
0.577346
13
0.57733
16
0.577313
43
0.577297
18
0.57728
39
0.577264
39
0.577247
21
0.577231
58
0.577215
48
0.577198
13
0.577182
24
0.577165
10
0.577149
54
0.577132
36
0.577116
37
0.577099
22
0.577083
42
0.577066
46
0.57705
44
0.577033
64
0.577017
17
0.577
39
0.576984
48
0.576968
47
0.576951
79
0.576935
19
0.576918
32
0.576902
10
0.576885
57
0.576869
30
0.576852
56
0.576836
58
0.576819
62
0.576803
24
0.576787
43
0.57677
51
0.576754
36
0.576737
25
0.576721
53
0.576704
50
0.576688
35
0.576672
45
0.576655
49
0.576639
38
0.576622
54
0.576606
54
0.57659
60
0.576573
32
0.576557
31
0.57654
30
0.576524
7
0.576508
45
0.576491
21
0.576475
84
0.576458
13
0.576442
49
0.576426
50
0.576409
42
0.576393
43
0.576376
31
0.57636
50
0.576344

Bottom of Al_N coating Ion Etch Crater (200 ang depth)
2003
5
7
22
59
36
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.08
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
84
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
10
4.00E-06
0
0
0
0
512
0
1442
0.503247
0.505747
114
0.505747
108
0.505737
88
0.505728
108
0.505718
104
0.505708
98
0.505698
110
0.505688
122
0.505678
102
0.505668
94
0.505658
106
0.505648
109
0.505639
97
0.505629
82
0.505619
80
0.505609
88
0.505599
90
0.505589
79
0.505579
69
0.505569
98
0.505559
95
0.50555
87
0.50554
82
0.50553
85
0.50552
89
0.50551
101
0.5055
73
0.50549
94
0.50548
93
0.505471
73
0.505461
61
0.505451
88
0.505441
80
0.505431
80
0.505421
74
0.505411
64
0.505401
70
0.505392
97
0.505382
78
0.505372
83
0.505362
71
0.505352
87
0.505342
84
0.505332
108
0.505322
61
0.505313
61
0.505303
80
0.505293
52
0.505283
90
0.505273
54
0.505263
65
0.505253
65
0.505244
101
0.505234
68
0.505224
73
0.505214
78
0.505204
92
0.505194
84
0.505184
68
0.505175
76
0.505165
98
0.505155
91
0.505145
68
0.505135
72
0.505125
85
0.505115
91
0.505106
95
0.505096
66
0.505086
81
0.505076
57
0.505066
59
0.505056
71
0.505047
95
0.505037
75
0.505027
100
0.505017
100
0.505007
64
0.504997
108
0.504987
82
0.504978
81
0.504968
100
0.504958
87
0.504948
97
0.504938
90
0.504928
96
0.504919
144
0.504909
131
0.504899
129
0.504889
131
0.504879
155
0.504869
132
0.50486
134
0.50485
169
0.50484
211
0.50483
250
0.50482
242
0.50481
221
0.504801
293
0.504791
303
0.504781
339
0.504771
370
0.504761
383
0.504751
463
0.504742
436
0.504732
503
0.504722
535
0.504712
590
0.504702
655
0.504693
707
0.504683
767
0.504673
873
0.504663
904
0.504653
951
0.504643
950
0.504634
999
0.504624
1074
0.504614
1177
0.504604
1228
0.504594
1226
0.504585
1378
0.504575
1372
0.504565
1426
0.504555
1423
0.504545
1404
0.504536
1442
0.504526
1381
0.504516
1407
0.504506
1301
0.504496
1278
0.504487
1182
0.504477
1057
0.504467
969
0.504457
899
0.504447
827
0.504438
792
0.504428
628
0.504418
573
0.504408
519
0.504398
419
0.504389
397
0.504379
329
0.504369
285
0.504359
233
0.504349
238
0.50434
243
0.50433
195
0.50432
154
0.50431
160
0.5043
128
0.504291
127
0.504281
125
0.504271
93
0.504261
56
0.504251
65
0.504242
84
0.504232
56
0.504222
35
0.504212
59
0.504203
60
0.504193
47
0.504183
44
0.504173
33
0.504163
50
0.504154
51
0.504144
22
0.504134
44
0.504124
35
0.504115
43
0.504105
40
0.504095
19
0.504085
47
0.504075
25
0.504066
25
0.504056
28
0.504046
15
0.504036
12
0.504027
37
0.504017
46
0.504007
19
0.503997
29
0.503987
49
0.503978
54
0.503968
24
0.503958
36
0.503948
35
0.503939
44
0.503929
39
0.503919
0
0.503909
38
0.5039
37
0.50389
35
0.50388
37
0.50387
58
0.503861
18
0.503851
35
0.503841
15
0.503831
37
0.503822
32
0.503812
40
0.503802
31
0.503792
39
0.503783
30
0.503773
35
0.503763
35
0.503753
19
0.503744
49
0.503734
41
0.503724
25
0.503714
26
0.503705
19
0.503695
45
0.503685
43
0.503675
42
0.503666
35
0.503656
26
0.503646
32
0.503636
30
0.503627
34
0.503617
31
0.503607
13
0.503597
6
0.503588
29
0.503578
30
0.503568
50
0.503558
11
0.503549
29
0.503539
39
0.503529
25
0.50352
32
0.50351
21
0.5035
39
0.50349
33
0.503481
24
0.503471
36
0.503461
55
0.503451
34
0.503442
34
0.503432
23
0.503422
13
0.503413
16
0.503403
5
0.503393
28
0.503383
34
0.503374
27
0.503364
42
0.503354
28
0.503345
49
0.503335
38
0.503325
32
0.503315
48
0.503306
13
0.503296
10
0.503286
29
0.503277
21
0.503267
18
0.503257
17
0.503247

Bottom of Al_N coating Ion Etch Crater (200 ang depth)
2003
5
7
22
59
36
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.08
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
408
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
10
4.00E-06
0
0
0
0
512
0
3076
0.550892
0.554446
228
0.554446
218
0.554432
210
0.554418
195
0.554404
206
0.55439
201
0.554376
199
0.554361
205
0.554347
166
0.554333
223
0.554319
147
0.554305
218
0.554291
243
0.554277
180
0.554263
183
0.554249
165
0.554235
173
0.554221
183
0.554206
202
0.554192
205
0.554178
191
0.554164
149
0.55415
164
0.554136
147
0.554122
161
0.554108
180
0.554094
156
0.55408
155
0.554066
170
0.554052
139
0.554037
152
0.554023
170
0.554009
123
0.553995
168
0.553981
136
0.553967
136
0.553953
156
0.553939
141
0.553925
126
0.553911
191
0.553897
155
0.553883
119
0.553869
146
0.553855
159
0.553841
156
0.553827
136
0.553813
144
0.553798
136
0.553784
133
0.55377
129
0.553756
102
0.553742
154
0.553728
106
0.553714
140
0.5537
108
0.553686
144
0.553672
94
0.553658
160
0.553644
109
0.55363
142
0.553616
96
0.553602
154
0.553588
138
0.553574
143
0.55356
137
0.553546
132
0.553532
108
0.553518
160
0.553504
169
0.55349
156
0.553476
133
0.553462
155
0.553448
160
0.553434
140
0.55342
157
0.553406
142
0.553392
170
0.553378
134
0.553364
217
0.55335
190
0.553336
170
0.553322
202
0.553308
199
0.553294
199
0.55328
139
0.553266
160
0.553252
209
0.553238
186
0.553224
166
0.55321
223
0.553196
188
0.553182
217
0.553168
215
0.553154
252
0.55314
247
0.553126
264
0.553112
268
0.553098
281
0.553084
297
0.55307
320
0.553056
312
0.553042
336
0.553028
320
0.553014
343
0.553
304
0.552986
310
0.552972
335
0.552958
409
0.552944
442
0.55293
464
0.552916
480
0.552902
533
0.552888
541
0.552874
564
0.55286
582
0.552846
706
0.552832
718
0.552819
763
0.552805
848
0.552791
823
0.552777
871
0.552763
1019
0.552749
1085
0.552735
1177
0.552721
1336
0.552707
1462
0.552693
1680
0.552679
1743
0.552665
2025
0.552651
2285
0.552637
2367
0.552623
2631
0.552609
2797
0.552595
2931
0.552582
2888
0.552568
2973
0.552554
3076
0.55254
3059
0.552526
2937
0.552512
2872
0.552498
2709
0.552484
2496
0.55247
2321
0.552456
2076
0.552442
1928
0.552428
1614
0.552414
1424
0.552401
1266
0.552387
1017
0.552373
866
0.552359
759
0.552345
714
0.552331
538
0.552317
541
0.552303
450
0.552289
429
0.552275
334
0.552262
298
0.552248
225
0.552234
262
0.55222
226
0.552206
149
0.552192
206
0.552178
139
0.552164
184
0.55215
107
0.552136
107
0.552123
137
0.552109
113
0.552095
101
0.552081
134
0.552067
94
0.552053
92
0.552039
121
0.552025
88
0.552012
85
0.551998
136
0.551984
84
0.55197
42
0.551956
67
0.551942
73
0.551928
47
0.551914
66
0.551901
58
0.551887
53
0.551873
74
0.551859
69
0.551845
52
0.551831
82
0.551817
92
0.551804
64
0.55179
47
0.551776
61
0.551762
51
0.551748
69
0.551734
54
0.551721
39
0.551707
69
0.551693
37
0.551679
48
0.551665
66
0.551651
74
0.551637
78
0.551624
86
0.55161
58
0.551596
56
0.551582
63
0.551568
59
0.551554
51
0.551541
46
0.551527
77
0.551513
45
0.551499
80
0.551485
29
0.551472
55
0.551458
58
0.551444
72
0.55143
34
0.551416
73
0.551402
33
0.551389
61
0.551375
56
0.551361
71
0.551347
37
0.551333
67
0.55132
43
0.551306
78
0.551292
0
0.551278
54
0.551264
57
0.551251
57
0.551237
70
0.551223
67
0.551209
47
0.551195
61
0.551182
45
0.551168
67
0.551154
107
0.55114
78
0.551126
48
0.551113
51
0.551099
44
0.551085
47
0.551071
34
0.551058
32
0.551044
62
0.55103
43
0.551016
63
0.551002
59
0.550989
60
0.550975
68
0.550961
54
0.550947
92
0.550934
53
0.55092
39
0.550906
38
0.550892
end of experiment
